SiH4硅烷簡(jiǎn)介：

硅烷是強還原劑，與重金屬鹵化物激烈反應，與氯、溴發(fā)生爆炸性反應，與四氯化碳激烈反應。因此對硅烷不能使用氟里昂滅火劑。硅烷不溶于乙醇、乙醚、苯、氯仿和四氯化硅。不與潤滑油、脂肪反應。對幾乎所有的金屬無(wú)腐蝕性。有時(shí)，玻璃中的堿成分也能分解硅烷。溶解在二硫化碳中的硅烷遇到空氣也可發(fā)生爆炸。硅烷廣泛用于硅的外延生長(cháng)、多晶硅、氧化硅、氮化硅等的原料，太陽(yáng)能電池，光導纖維，有色玻璃制造等。

 

商品詳細：

2.1(Flammable Gas)(可燃性氣體)                                    DOT Lable(DOT標簽): FLAMMABLE GAS(可燃性氣體)

Grsde(級別):6N                                                    Purity(純度):99.9999%

Impurity(非組分) Specification(標準）

 Oxygen(氧)+Argon(氬): ≤0.06ppmv                                                                   Nitrogen(氮): ≤0.5　ppmv

 Carbon Dioxide(二氧化碳):≤0.05 ppmv                                                          Carbon Monoxide(一氧化碳): ≤0.05 ppmv

 Helium(氦):≤1　  ppmv                                                                                       Water(水):≤0.1　ppmv

 Hydrogen(氫): ≤20   ppmv                                                                                Disilane(乙硅烷) ≤0.5  ppmv

 Disiloxane(二甲硅醚):≤0.05 ppmv                                                                 C2-C4(碳2--碳4): ≤0.1　ppmv

 Methane(甲烷): ≤0.05 ppmv                                                                              Total Chlorosilanes(總氯硅烷)： ≤0.1　ppmv

  

包裝	容積	重量	連接閥門(mén)
小鋼瓶	47L	10Kg	CGA350 DISS632
Y瓶	440L	120Kg	DISS632(手動(dòng)）DISS632(氣動(dòng))

應用：在外延生長(cháng)技術(shù)中用作硅源、用于低溫二氧化硅CVD、用于氮化硅  CVD。

 

硅烷注意事項：

使用硅烷的工作場(chǎng)所要通風(fēng)，保持室內空氣干燥。硅烷裝置要嚴格密封，避免和空氣、水分相接觸，為此，用氣裝置在使用前要用惰性氣體置換里面的空氣后抽真空，這樣反復進(jìn)行置換和抽真空，一定要徹底清除系統中的空氣和水分。裝置使用以后，也要用惰性氣體置換清洗系統中的硅烷?？梢杂煤ぬ铰┢魈铰?。少量硅烷泄漏時(shí)，從氧化硅粉末的折出中也可以得知。鋼瓶要存放在陰涼干燥通風(fēng)良好之處，要遠離熱源和氯、溴等氧化劑。工作場(chǎng)所要配備足夠的防護用品及應急用品。硅烷無(wú)腐蝕性，可以使用碳鋼、不銹鋼、銅、黃銅、蒙乃爾、耐蝕鎳基合金。也可用聚四氟乙烯、聚三氟氯化乙烯聚合體、尼龍、三氟氯乙烯樹(shù)脂、聚乙烯、聚酯、石英玻璃。不能用鉛、橡膠、脂肪、潤滑油、玻璃。凡是可燃性的有機高分子材料應該避免使用。當硅烷大量泄漏時(shí)。緊接著(zhù)就要著(zhù)火，所以無(wú)法用滅火器滅火。但是可以控制火勢，使火災不向周?chē)?。燃燒時(shí)輻射熱不太高，所以應盡可能去關(guān)閉閥門(mén)以止住氣體的流出?？捎冒籽┦刍蚴巯ɑ?。廢氣可用水或堿吸收，或者在特殊燃燒器中燃燒成SiO2之后用專(zhuān)門(mén)的過(guò)濾器捕捉。儲存于陰涼、通風(fēng)的庫房。遠離火種、熱源。庫溫不宜超過(guò)30℃。應與易（可）燃物、氧化劑分開(kāi)存放，切忌混儲。儲區應備有泄漏應急處理設備。密閉操作，局部排風(fēng)。操作人員必須經(jīng)過(guò)專(zhuān)培訓，嚴格遵守操作規程。建議操作人員佩戴過(guò)濾式防毒面具（半面罩）。遠離易燃、可燃物。防止氣體泄漏到工作場(chǎng)所空氣中。避免與氧化劑接觸。搬運時(shí)輕裝輕卸，防止鋼瓶及附件破損。配備泄漏應急處理設備。

硅烷的應用：

高純硅烷跟高純氨氣一起用于生產(chǎn)太陽(yáng)能薄膜電池將硅分子附著(zhù)于電池表面

跟高純乙烯一起用于LOW-E鍍膜玻璃的生產(chǎn)

高純硅烷應用于大規模集成電路的外延生長(cháng)工藝中用作硅源

應用于國防、軍事工業(yè)的研發(fā)、生產(chǎn)

硅烷在平板顯示生產(chǎn)中也有重要的用途

用于低溫二氧化硅CVD、用于氮化硅CVD

硅烷操作說(shuō)明：

用一個(gè)減壓器或獨立的控制閥安全地從氣瓶?jì)柔尫殴柰?。用單向閥來(lái)防止倒流。不要用明火或其它附近的熱源加熱鋼瓶的任何部分。
使用防火花工具。不要試圖對裝有硅烷的鋼瓶進(jìn)行修理、調節或其他改動(dòng)。
用氫離子檢測器監測硅烷的修理和在空氣中的擴散，用紅外/紫外監測器監測火災 。所以的監測器都應有內鎖，一旦發(fā)現問(wèn)題立即自動(dòng)切斷硅烷氣源。
如果出現故障或其他操作問(wèn)題，請立即與最近的分銷(xiāo)商聯(lián)系。
硅烷系統中不允許使用填壓閥，只允許使用非填壓的膜閥和波紋管閥。在其分配系統中應安裝過(guò)流閥或過(guò)流開(kāi)關(guān)。這樣可以在下游管線(xiàn)發(fā)生爆炸時(shí)切斷氣源。這個(gè)開(kāi)關(guān)閥應安裝得離氣源越近越好。
如有可能應避免單獨一個(gè)人操作鋼瓶。所有的操作都應這樣進(jìn)行,一旦發(fā)生泄漏，處理緊急情況的人員可以立即趕到。
監測系統應裝備備用或應急電源。必須有遙控緊急開(kāi)關(guān)，必要時(shí)可關(guān)閉硅烷氣源。
一定不要拉、滾動(dòng)或滑動(dòng)容器。用合適的手推車(chē)來(lái)移動(dòng)容器，不要試圖抓住氣瓶的蓋子來(lái)拎起它。保證氣瓶在使用的全過(guò)程中為固定狀態(tài)。
不可將工具(如：扳手，螺絲刀，等) 插入閥蓋內。否則會(huì )損壞閥門(mén)并引起泄漏。
一旦鋼瓶與吹掃和鈍化過(guò)的系統連接好，應緩慢仔細地打開(kāi)鋼瓶閥。如果使用者在操作氣瓶閥時(shí)有困難，需停止使用，并與供應商聯(lián)系。
使用可調節的帶扳手來(lái)打開(kāi)過(guò)緊或生銹的閥蓋。所有管路和相關(guān)設備接地。電器設備必須防火花和防爆。