SiH4硅烷簡(jiǎn)介:
硅烷是強還原劑,與重金屬鹵化物激烈反應,與氯、溴發(fā)生爆炸性反應,與四氯化碳激烈反應。因此對硅烷不能使用氟里昂滅火劑。硅烷不溶于乙醇、乙醚、苯、氯仿和四氯化硅。不與潤滑油、脂肪反應。對幾乎所有的金屬無(wú)腐蝕性。有時(shí),玻璃中的堿成分也能分解硅烷。溶解在二硫化碳中的硅烷遇到空氣也可發(fā)生爆炸。硅烷廣泛用于硅的外延生長(cháng)、多晶硅、氧化硅、氮化硅等的原料,太陽(yáng)能電池,光導纖維,有色玻璃制造等。
商品詳細:
2.1(Flammable Gas)(可燃性氣體) DOT Lable(DOT標簽): FLAMMABLE GAS(可燃性氣體)
Grsde(級別):6N Purity(純度):99.9999%
Impurity(非組分) Specification(標準)
Oxygen(氧)+Argon(氬): ≤0.06ppmv Nitrogen(氮): ≤0.5 ppmv
Carbon Dioxide(二氧化碳):≤0.05 ppmv Carbon Monoxide(一氧化碳): ≤0.05 ppmv
Helium(氦):≤1 ppmv Water(水):≤0.1 ppmv
Hydrogen(氫): ≤20 ppmv Disilane(乙硅烷) ≤0.5 ppmv
Disiloxane(二甲硅醚):≤0.05 ppmv C2-C4(碳2--碳4): ≤0.1 ppmv
Methane(甲烷): ≤0.05 ppmv Total Chlorosilanes(總氯硅烷): ≤0.1 ppmv
包裝 |
容積 |
重量 |
連接閥門(mén) |
小鋼瓶 |
47L |
10Kg |
CGA350 DISS632 |
Y瓶 |
440L |
120Kg |
DISS632(手動(dòng))DISS632(氣動(dòng)) |
應用:在外延生長(cháng)技術(shù)中用作硅源、用于低溫二氧化硅CVD、用于氮化硅 CVD。
硅烷注意事項:
使用硅烷的工作場(chǎng)所要通風(fēng),保持室內空氣干燥。硅烷裝置要嚴格密封,避免和空氣、水分相接觸,為此,用氣裝置在使用前要用惰性氣體置換里面的空氣后抽真空,這樣反復進(jìn)行置換和抽真空,一定要徹底清除系統中的空氣和水分。裝置使用以后,也要用惰性氣體置換清洗系統中的硅烷??梢杂煤ぬ铰┢魈铰?。少量硅烷泄漏時(shí),從氧化硅粉末的折出中也可以得知。鋼瓶要存放在陰涼干燥通風(fēng)良好之處,要遠離熱源和氯、溴等氧化劑。工作場(chǎng)所要配備足夠的防護用品及應急用品。硅烷無(wú)腐蝕性,可以使用碳鋼、不銹鋼、銅、黃銅、蒙乃爾、耐蝕鎳基合金。也可用聚四氟乙烯、聚三氟氯化乙烯聚合體、尼龍、三氟氯乙烯樹(shù)脂、聚乙烯、聚酯、石英玻璃。不能用鉛、橡膠、脂肪、潤滑油、玻璃。凡是可燃性的有機高分子材料應該避免使用。當硅烷大量泄漏時(shí)。緊接著(zhù)就要著(zhù)火,所以無(wú)法用滅火器滅火。但是可以控制火勢,使火災不向周?chē)?。燃燒時(shí)輻射熱不太高,所以應盡可能去關(guān)閉閥門(mén)以止住氣體的流出??捎冒籽┦刍蚴巯ɑ?。廢氣可用水或堿吸收,或者在特殊燃燒器中燃燒成SiO2之后用專(zhuān)門(mén)的過(guò)濾器捕捉。儲存于陰涼、通風(fēng)的庫房。遠離火種、熱源。庫溫不宜超過(guò)30℃。應與易(可)燃物、氧化劑分開(kāi)存放,切忌混儲。儲區應備有泄漏應急處理設備。密閉操作,局部排風(fēng)。操作人員必須經(jīng)過(guò)專(zhuān)培訓,嚴格遵守操作規程。建議操作人員佩戴過(guò)濾式防毒面具(半面罩)。遠離易燃、可燃物。防止氣體泄漏到工作場(chǎng)所空氣中。避免與氧化劑接觸。搬運時(shí)輕裝輕卸,防止鋼瓶及附件破損。配備泄漏應急處理設備。
硅烷的應用:
高純硅烷跟高純氨氣一起用于生產(chǎn)太陽(yáng)能薄膜電池將硅分子附著(zhù)于電池表面
跟高純乙烯一起用于LOW-E鍍膜玻璃的生產(chǎn)
高純硅烷應用于大規模集成電路的外延生長(cháng)工藝中用作硅源
應用于國防、軍事工業(yè)的研發(fā)、生產(chǎn)
硅烷在平板顯示生產(chǎn)中也有重要的用途
用于低溫二氧化硅CVD、用于氮化硅CVD
硅烷操作說(shuō)明:
用一個(gè)減壓器或獨立的控制閥安全地從氣瓶?jì)柔尫殴柰?。用單向閥來(lái)防止倒流。不要用明火或其它附近的熱源加熱鋼瓶的任何部分。
使用防火花工具。不要試圖對裝有硅烷的鋼瓶進(jìn)行修理、調節或其他改動(dòng)。
用氫離子檢測器監測硅烷的修理和在空氣中的擴散,用紅外/紫外監測器監測火災 。所以的監測器都應有內鎖,一旦發(fā)現問(wèn)題立即自動(dòng)切斷硅烷氣源。
如果出現故障或其他操作問(wèn)題,請立即與最近的分銷(xiāo)商聯(lián)系。
硅烷系統中不允許使用填壓閥,只允許使用非填壓的膜閥和波紋管閥。在其分配系統中應安裝過(guò)流閥或過(guò)流開(kāi)關(guān)。這樣可以在下游管線(xiàn)發(fā)生爆炸時(shí)切斷氣源。這個(gè)開(kāi)關(guān)閥應安裝得離氣源越近越好。
如有可能應避免單獨一個(gè)人操作鋼瓶。所有的操作都應這樣進(jìn)行,一旦發(fā)生泄漏,處理緊急情況的人員可以立即趕到。
監測系統應裝備備用或應急電源。必須有遙控緊急開(kāi)關(guān),必要時(shí)可關(guān)閉硅烷氣源。
一定不要拉、滾動(dòng)或滑動(dòng)容器。用合適的手推車(chē)來(lái)移動(dòng)容器,不要試圖抓住氣瓶的蓋子來(lái)拎起它。保證氣瓶在使用的全過(guò)程中為固定狀態(tài)。
不可將工具(如:扳手,螺絲刀,等) 插入閥蓋內。否則會(huì )損壞閥門(mén)并引起泄漏。
一旦鋼瓶與吹掃和鈍化過(guò)的系統連接好,應緩慢仔細地打開(kāi)鋼瓶閥。如果使用者在操作氣瓶閥時(shí)有困難,需停止使用,并與供應商聯(lián)系。
使用可調節的帶扳手來(lái)打開(kāi)過(guò)緊或生銹的閥蓋。所有管路和相關(guān)設備接地。電器設備必須防火花和防爆。