八氟環(huán)丁烷C4F8
簡(jiǎn)介:
八氟環(huán)丁烷(C-318)是一種無(wú)色無(wú)味不可燃的氣體。質(zhì)量指標:八氟環(huán)丁烷含量(質(zhì)量分數)99.990%-99.999%,氧含量(體積分數)≤0.002%,水含量≤0.001% 物性參數沸點(diǎn):-5.85℃,熔點(diǎn):-41.4℃,液體密度(25℃):1.62g/cm3。本產(chǎn)品主要用于食品工業(yè)的噴射劑、制冷劑,集成電路蝕刻劑,與六氟化硫混合作電解質(zhì)、含氟化合物聚合時(shí)的介質(zhì)。
A colorless,nonflammable,liquefied gas.(一種無(wú)色、不燃、液化氣體) Formula(分子式):C4F8 Molecular weight(分子量):200.03 Boiling point(沸點(diǎn)):-5.8℃,-21.56°F; Melting point(融點(diǎn)):-40.2℃,-40.36°F. Vapor Pressure(蒸汽壓):170Kpa(21.1℃);25Psia(70°F) Specific Volume(比容):0.12m3/kg(21.1℃,101.325KPa) 1.85ft3/lb(70°F,14.696psia) UN Number(UN號碼):UN1976 DOT Classification(DOT類(lèi)別):2.2(Nonflammable Gas)(不燃氣體) DOT Label(DOT標簽):NON-FLAMMABLE GAS(不燃氣體) Cylinder Connection(鋼瓶接口):CGA/DISS/JIS--660/716/W22-14L Grsde(級別)5N Purity(純度)99.999% Guaranteed Specification(保證規格)
Impurity(非組分) |
Specification(標準) |
Oxygen(氧)+ Nitrogen(氮)+ Carbon Monoxide(一氧化碳) |
≤5 ppmv |
Carbon Dioxide(二氧化碳) |
≤1 ppmv |
Carbon Tetrafluoride(四氟化碳) |
≤5 ppmv |
Water(水) |
≤3 ppmv |
Acidity as HF(酸性物,如氟化氫) |
≤0.1 ppmv |
Cylinder Size(liter)鋼瓶體積(升) |
Content(Kg,lbs)氣含量(公斤,磅) |
43.8 |
50,110 |
|
應用:刻蝕氣體/等離子刻蝕
八氟環(huán)丁烷用途:
用作半導體設備等的生產(chǎn)工藝中的蝕刻或清潔氣體。
包裝和貯存:八氟環(huán)丁烷鋼瓶的充裝值為1.296kg/L。鋼瓶閥門(mén)關(guān)緊后再蓋緊悶頭和鋼瓶蓋,以防泄漏。鋼瓶運輸中應避免震蕩,鋼瓶堆放在通風(fēng)、干燥、安全處,并遠離熱源。
注意事項:當該產(chǎn)品濃度達到使空氣中的氧含量減少至低于19.5%是,會(huì )導致窒息;救援人員要佩帶自給式呼吸器;接觸該產(chǎn)品會(huì )導致凍傷.